Halbleiterindustrie, Bild: Loban Alex/Shutterstock / Rodriguez
Aufgrund ihrer speziellen Eigenschaften eignen sich Dünnringlager besonders gut für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Bild: Loban Alex/Shutterstock / Rodriguez

Filigraner geht es in der Halbleitertechnologie zu. Hier sind unter anderem Dünnringlager gefragt. Entsprechende Komponenten von Rodriguez kommen hier unter anderem in Objektivblenden von fotolithografischen Systemen zum Einsatz: Nachdem diese Blenden möglichst kompakt und flach konstruiert sein sollen, sind Dünnringlager hierfür die erste Wahl. Die Lagertypen zeichnen sich durch den kleinen Querschnitt aus, der auch bei steigendem Bohrungsdurchmesser gleich bleibt. Das Kaydon-Dünnringlagerspektrum von Rodriguez umfasst rund 250 Lagertypen mit Lösungen für die unterschiedlichsten Anwendungsfälle wie auch für die Präzisionsmechanik in den lithografischen Systemen zur Halbleiterfertigung.

„In der Halbleiterbranche gibt es aber noch viele weitere Anwendungsbeispiele für die Dünnringlager“, so Ulrich Schroth, Geschäftsbereichsleiter Value Added Products bei Rodriguez. „So liefern wir seit vielen Jahren Kaydon-Dünnringlager aus Edelstahl an einen Kunden, der diese in Single-Wafer-Systemen verbaut.“ Auf Basis der Dünnringlager entstehen bei Rodriguez aber auch komplette einbaufertige Baugruppen, die präzise auf die jeweilige Applikation zugeschnitten werden. „Auch hier gibt es ein Beispiel aus der Halbleitertechnologie: Eines unserer Komplettsysteme bewährt sich in vollautomatischen Hochgeschwindigkeits-Mess-Systemen für Wafer“, so Ulrich Schroth abschließend.

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Dünnringlager, Bild: Igus
Dünnringlager kommen in engen Bauräumen zum Einsatz, zum Beispiel bei Drehreglern im Fahrzeug. Bild: Igus

Temperatur, Lüftung oder auch Härte des Fahrwerks – vieles lässt sich im Auto über verschiedene Drehregler einstellen. Da hier ein extrem geringes Gewicht wichtig ist und oft nur wenig Bauraum zur Verfügung steht, eignen sich vor allem hier die neuen Xiros-Dünnringlager der Baureihe 67 und 68. Diese bietet Igus in zwei verschiedenen Werkstoffen (Xirodur B180 und Xirodur S180) in Innendurchmessern zwischen vier und 30 Millimetern an. Auf Wunsch sind ebenfalls Sonderabmessungen oder kundenindividuelle integrierte Lösungen möglich.

Bei beiden Werkstoffen können Anwender jeweils zwischen Kugeln aus Edelstahl 1.4401 oder Glas wählen, wobei der Einsatz von Glaskugeln eine komplett unmagnetische Version der Kugellager garantiert. Zusätzlich ist für eine weitere Gewichtsreduzierung die Verwendung von Kugeln aus Kunststoff auf Wunsch möglich.

Die Dünnringlager eignen sich für Anwendungstemperaturen zwischen minus 40 und plus 80 Grad Celsius. Außerdem müssen sie nicht geschmiert werden und sind korrosionsbeständig. Im mit 2750 Quadratmetern größten Testlabor für Kunststoffe in Bewegung wurde bei Igus darüber hinaus in verschiedenen Dreh- und Schwenktests belegt, dass sich die Lager innerhalb der zulässigen Lasten für mehrere 100 Millionen Zyklen eignen.