Direktbelichtung von Leiterplatten

Die Systemlösung besteht aus dem Luxbeam Lithography System LLS mit UV-Belichtungsköpfen sowie dem Motion Controller MC2 und den Servoverstärkern SD2S. Anwender profitieren unter anderem von einer hohen Maschinenperformance. Das LLS wurde auf Basis der Digital Light Processing (DLP)-Technologie, hochpräziser Optiken, leistungsfähiger UV-Lichtquellen und der entsprechenden Bildverarbeitungssoftware realisiert.

Das Belichtungssystem kommuniziert über Ethernet mit dem Motion Controller MC2. Gleichzeitig stellt das System ein auf den Nanometer genaues Positionssignal zur Verfügung, das für die Synchronisation des Belichtungsprozesses zur relativen Bewegung der Achsen benötigt wird. Nichtlinearitäten oder mechanische Toleranzen der realen Maschine lassen sich mit Hilfe des Motion Controllers MC2 und der Servoverstärker SD2S kompensieren. Einsatzbereiche sind Maschinen zum Ultraschall- bzw. optischen Scannen, Drucken, Röntgen oder Direktbelichten von Leiterplatten. bj